拓荆科技取得发明专利授权:“半导体处理设备及办法”
- 型号:LDX-K3050
- 输出电压:0-30V 输出电流:0-50A
- 来源:BOB.COM
- 发布时间:2025-02-23 18:15:48
- 证券之星音讯,依据天眼查APP多个方面数据显现拓荆科技(688072)新取得一项发明专利授权,专
证券之星音讯,依据天眼查APP多个方面数据显现拓荆科技(688072)新取得一项发明专利授权,专利名为“半导体处理设备及办法”,专利请求号为CN8.6,授权日为2025年2月21日。
专利摘要:本请求触及一种半导体处理设备及办法。在本请求的一施行例中,所述半导体处理设备包含:晶圆承载盘体,其间设置有下电极,所述下电极耦接到直流电源;及上电极,其与所述晶圆承载盘体相对设置,所述上电极经由匹配电路耦接到射频发生器,且经由低通滤波器接地。
今年以来拓荆科技新取得专利授权6个,较去年同期增加了200%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研制方面投入了3.14亿元,同比增49.61%。
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证券之星估值剖析提示拓荆科技盈余才能平平,未来营收成长性较差。归纳基本面各维度看,股价偏高。更多
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